Основными элементами конструкции измерителя расхода газа (массового расходомера) являются:

специальный "элемент сопротивления потоку", обеспечивающий идеальное расщепление потока с целью отвода его части в канал измерительной ячейки

специальная измерительная ячейка, обеспечивающая сверхстабильную температурную стабильность сенсора.

Элемент сопротивления потоку представляет собой набор специальных дисков из нержавеющей стали с прецезионно вытравленными каналами в них. Размер каждого канала соответствует размеру измерительного капилляра сенсора. Конструкция элемента сопротивления потоку обеспечивает стабильный коэффициент отношения потока через сенсор и мимо него. Причем это отношение остается постоянным во всем диапазоне изменения параметров эксплуатации прибора.

Измерительная ячейка (сенсор) состоит из капилляра (измерительного канала), двух термосопротивлений (RT1 и RT2) и нагревательного элемента (RH) между ними. Часть газа, ответвляемая элементом сопротивления потоку, проходит по капилляру и нагревается с помощью нагревательного элемента. Термосопротивления предназначены для регистрации температуры газа до (T1) и после (T2) нагревательного элемента. Разность этих температур (T2-T1) прямо пропорциональна массовому расходу газа. Электронная часть измерителя обеспечивает преобразование сигнала от измерительной ячейки в стандартный линейный унифицированный выходной сигнал OUTPUT (0..5В, 0..10В, 0..20мА, 4..20мА).

Если прибор является не только измерителем, но и регулятором, то электронная схема на основе разницы сигналов задания (SETPOINT) и измерения (OUTPUT), вырабатывает сигнал управления (в соответствии с законами ПИД-регулирования) для поддержания постоянного расхода с высокой точностью.